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| 真空設備設計中的注意事項 |
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1、根據設備的工藝要求，確定真空設備的總的較大允許漏率，并依據這一總漏率確定各組成部件的較大允許漏率。2、根據設備的較大允許漏率等指標，在設計階段便初步確定將要采用的檢漏方法，并將其作為指導調試驗收的基本原則之一。3、根據設備或部件的較大允許漏率指標，決定設備的密封、連接方式和總體加工精度，以及何種動密封形式能夠滿足要求。如，法蘭采用金屬密封或橡膠密封。4、容器結構強度設計時，考慮如果采用加壓法檢漏被檢件所應具有的耐壓能力和結構強度。5、選擇零部件結構材料時，考慮是否使用了可能被工作介質和示漏氣體腐蝕而導致損壞的材料。6、結構設計時，在容器或系統上要留有必要的檢漏儀器備用接口，以便在設備組裝、調試過程中檢漏使用。尤其是大型、復雜的管路系統，通常需要采用分段檢漏方法，因此在管路上要設置分段隔離的閥門，并在每一隔離段上預留檢漏儀器接口。7、零件結構設計時，盡量避免采用可能干擾檢漏工作的設計方案。例如在真空室內螺釘孔不能采用盲孔形式，因為安裝螺釘后螺孔內部剩余空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出，形成虛漏。從而延長系統抽氣時間，干擾檢漏正常進行。如圖真空檢漏中不應出現的結構。8、與此類似，結構設計中不允許存在連續雙面焊縫和多層密封圈結構，因為這會在中間形成“寄生積”內的氣體會形成虛漏；而當內、外雙側焊縫或密封圈同時泄漏時，“寄生容積”使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應時間過長，無法正常檢漏。9、焊接結構設計時，盡量減少總裝后無法檢漏的焊縫。 |
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